主要功能

　　3D共聚焦顯微鏡可用來測量表面物理形貌，進(jìn)行微納米尺度的三維形貌分析。

　　3D共聚焦顯微鏡是一種用于機(jī)械工程領(lǐng)域的計(jì)量儀器

　　位移范圍：100mm×100mm×100mm；樣品表面結(jié)構(gòu)：Ra＞9nm，Lc=2μm；*大樣品高度：100～345mm；*大樣品重量：30kg；*佳水平分辨率：0.44μm；*佳垂直分辨率：10nm；*大掃描高度：22.5mm；*大擴(kuò)展視野范圍：10000mm2；*大單一方向掃描范圍：100mm；*小測量高度：0.01μm；*大測量高度：22.5mm；*大測量范圍：10000mm2；*大測量形貌長度：100mm；*小可重復(fù)性：0.001μm；*小測量粗糙度（Ra）：0.03μm；*小測量粗糙度（Sa）：0.015μm；*小測量半徑：1μm；*小測量垂直角度：20°。

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