三維表面測量儀的工作原理與技術參數

三維表面測量儀是采用先進的自動變焦技術對物體表面形貌和粗糙度進行測量的儀器。該儀器的工作原理是光學小景深測量與精密垂直掃描相結合。光源所發(fā)出的光線經過共軸的分光棱鏡和物鏡，聚焦照射到樣品表面上并發(fā)生反射，所反射光學信號經由分光棱鏡被信號傳感器接收。通過連續(xù)的自動的垂直掃描技術以及先進的圖像運算處理技術，獲得樣品完整的表面三維形貌。

主要技術參數

1. 位移范圍（X軸、Y軸、Z軸）：100mm×100mm×100mm

2. 大樣品高度：100mm ～ 345mm

3. 佳水平分辨率：0.44µm

4. 佳垂直分辨率：10nm

5. 測量速度:170萬個測量點/秒

6. 小測量高度：0.01µm

7. 大測量高度：22.5mm

8. 大測量形貌長度：100mm

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